(1)該兩步反應(yīng)的化學(xué)方程式分別是_____________________、_______________________。
(2)氮化硅薄膜材料是由硅烷與氨氣在900 ℃到1 100 ℃溫度下反應(yīng)而制成的,其化學(xué)方程式為______________________。
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